《电子工业用二氯硅烷》（GB/T38866-2020）【全文附PDF版下载】

《电子工业用二氯硅烷》（GB/T38866-2020）【全文附PDF版下载】

标准号：GB/T38866-2020

中文标准名称：电子工业用二氯硅烷

英文标准名称：Dichlorosilane for electronic industry

中国标准分类号（CCS） G86 国际标准分类号（ICS） 71.100.20

发布日期 2020-07-21 实施日期 2021-02-01

主管部门 国家标准化管理委员会 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

全文下载（高清晰无水印版）：《电子工 业用二氯硅 烷》（GB/T38866-2020）【提取码: wfmx】

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