《硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下载】

《硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下载】

标准号：GB/T39145-2020

中文标准名称：硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

英文标准名称：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers-Inductively coupled plasma mass spectrometry

中国标准分类号（CCS） H17 国际标准分类号（ICS） 77.040

发布日期 2020-10-11 实施日期 2021-09-01

主管部门 国家标准化管理委员会 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

全文下载：《硅 片表面金 属元素含量的测定电感耦 合等离子体 质谱法》（GB/T39145-2020）【提取码: jte6】

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