《硅集成电路芯片工厂设计规范》（GB50809-2012）【全文附高清无水印PDF+DOC/Word版下载】

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标准号：GB50809-2012

中文名称：硅集成电路芯片工厂设计规范

英文名称：Code for design of silicon integrated circuits wafer fab

适用范围：本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。

标准来源：本标准附带条文说明

发布日期：2012-10-11

实施日期： 2012-12-01

中国标准分类： P82(电子制造业工程)

国际标准分类： 31.200(集成电路、微电子学)

归口单位： 中华人民共和国工业和信息化部

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