《电子工业用四氯化硅》（GB/T38867-2020）【全文附PDF版下载】

浏览量：时间：2020-09-10 04:07:34

《电子工业用四氯化硅》（GB/T38867-2020）【全文附PDF版下载】

标准号：GB/T38867-2020

中文标准名称：电子工业用四氯化硅

英文标准名称：Silicon tetrachloride for electronic industry

中国标准分类号（CCS） G86 国际标准分类号（ICS） 71.100.20

发布日期 2020-07-21 实施日期 2021-02-01

主管部门国家标准化管理委员会归口单位全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会